常壓大氣型等離子清洗機通常會選用帶有流量控制器的專用氣源來為設備提供穩定的工藝氣體，而低壓真空型的等離子清洗機則會使用質量流量控制器來實現對通入工藝氣體的流量控制，其中低壓真空型等離子清洗機的流量控制范圍通常在0~50SCCM、0~500SCCM之間，不過隨著等離子清洗機的規格大小流量控制范圍也會有一定的區別，例如一些大型的低壓真空等離子清洗機也會使用到0~1SLM規格的質量流量控制器。那么我們該如何具體地根據等離子清洗機的實際情況，來選擇流量控制器呢？

　　選擇流量控制器的理由

　　因為在等離子清洗機中通入的工藝氣體可能存在著不同，所以在選擇時也建議采用相應的氣體專用質量流量控制器，以保證輸入氣體能夠有著穩定的計量。之所以要選擇專用的流量控制器，這是因為根據所使用的工藝氣體不同也意味著氣體分子的大小不同，再加上其化學性質的差異也很大，在這種情況下，如果使用相同規格的流量控制器就會產生一定的流量誤差以及安全隱患。

　　另外，如果使用的是常規工藝氣體，就可以選擇一種氣體作為標準，在這里只需要保障氣體流量的穩定性。而需要注意的是，如果使用的如氫氣、四氟化碳這類特殊氣體或其他易燃易爆、具有腐蝕性的工藝氣體，就一定要使用專用的質量流量控制器設備。

　　選擇浮子流量計的原因

　　實驗型低壓真空等離子清洗機，它是一種全手動操作的設備，但同時對于流量控制要求不算嚴苛，一般會使用到手動浮子流量計。

　　在低壓真空等離子清洗機中需要保證真空的反應腔體壓力的穩定，所以在選用好適合的氣體流量控制器后，還應該注意到氣管接頭的選用。通常來說我們會使用到快擰接頭或卡套接頭作為氣管接頭，以保證工藝氣體真空管路的密封性。

　　而當處理的是一些特殊材料時，可能會把液態單體作為一種放電介質，這時就一定要使用手動浮子流量計作為流量控制器。對于帶腐蝕性的液態單體則需要使用防腐型的浮子流量計，而對真空環境要求較高的則建議使用高密封性的浮子流量計。